SK海力士成功研发出业界首个氖气回收技术

SK海力士宣布，与韩国特种气体企业TEMC联合开发了半导体行业第一种霓虹灯回收技术。
霓虹灯是稀有气体之一，也是半导体光刻工艺所必需的准分子气体的主要原料。作为激光光源，具有无化学分解或变化的特点。这意味着一旦霓虹灯被使用，它可以在分离和净化过程中去除杂质后回收利用。

对此，SK海力士和TEMC成功开发了霓虹灯回收技术。这些企业在收集罐中收集霓虹灯，否则霓虹灯将在光刻过程中根据洗涤器排放到空气中。然后，根据TEMC气体技术，霓虹灯被有选地分离和净化。
净化后的霓虹灯将回收到SK海力士，进一步用于半导体制造。目前，霓虹灯回收率为72.7%。SK海力士计划不断提高净化率，将霓虹灯回收率提高到77%。
依据 SK 据海力士统计，该回收技术预计将每年减少 400 霓虹灯采购成本1亿韩元，并降低约1亿韩元 12000 吨二氧化碳当量碳排放。 

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