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如何打破日企垄断?那就是三星引进本土EUV光刻胶

如何打破日企垄断?那就是三星引进本土EUV光刻胶

从报道来看,三星曾经将韩国外乡公司研发的EUV光刻胶(EUV PR),用于一条半导体工艺线消费。在2019年阅历与日本的光刻胶等关键原料的供给风云之后,三星电子就在尝试将关键原料的供给本土化,经过3年之后,他们也在极紫外光刻胶上获得了停顿。

报道显示,在日本限制出口、三星电子尝试重构极紫外光刻胶的供应链之后,东进世美肯就已开端研发极紫外光刻胶,并在去年经过了三星电子的可靠性测试,三星电子随后在不到一年的工夫里就用于他们的一条工艺线。

三星初次引进外乡EUV光刻胶 打破日企垄断

不过,一条生产线仅是三星整个产品线中的一小部分,但是这是完全不依赖进口产品的生产线,因而具有特殊的意义。由于需求思索与海内供应商之间的关系等多重要素,目前还不清楚三星电子能否会将东进世美肯的极紫外光刻胶,用于更多的工艺线。

据理解,光刻胶是半导体曝光工艺中的关键资料,它使用于芯片消费上。当用半导体曝光设备照射光时,会发作化学反应并改动物理性质,经过用显影剂冲洗掉PR来绘制微电路,只留下必要的局部。

此外,极紫外光刻胶可用于3-50道顺序,目前也还不确定东进世美肯的光刻胶会用于哪一工艺程序。虽然东进世美肯目前向三星电子供给的极紫外光刻胶,在供应量上还不大,但他们的极紫外光刻胶的表现,估计将决议将来的供给能否添加。 


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